激光轮廓仪承诺守信,合肥迈思瑞仪表公司

轮廓仪

一、测量结束，退出系统，关闭电脑，切断电源及气源。

二、每个工作日打开过滤器的阀门放一次水。

三、测量完毕后用棉花拈航空汽1油清洗工作台及夹具，并涂油防锈。

四、仪器配件要注意防锈。

五、要定期清洁气浮导轨，以保证导轨的精度。

轮廓仪的用途：可测量各种精密机械零件的粗糙度和轮廓形状参数。用拟合法来评定园弧和直线等。从而可测量园弧半径、直线度、凸度、沟心距、倾斜度、垂直距离、水平距离、台阶等形状参数。pdf)，并支持完全的自定义报表，定制测量记录报表，可批量打印记录表，具有数据备份和还原数据库功能。仪器还可对各种零件表面的粗糙度进行测试；可对平面、斜面、外园柱面、内孔表面、深槽表面、圆弧面和球面的粗糙度进行测试,并实现多种参数测量。

轮廓仪助力半导体产业大发展

硅晶圆的粗糙度检测

在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。轮廓仪的测量杆是杠杆式的，所以测针在测量时上下进行的是一个圆弧运动。

有人说他的产品规格有10吨，20吨，30吨，40吨的，现在看来就不合理了吧？如果你取两倍的话，应该是10吨，20吨，40吨，80吨，或者保住头尾，也应该是10吨，16吨，25吨，40吨，公比为1.6才合理。这就是“标准化”，论坛上常常看到有人说“标准化”，实际他们说的是“标准件”，所做的工作只是将整机的标准件整理一下，就叫标准化了，实际不是这样的。那么，我们在设计产品的时候，就可以同时设计出一系列了，而不是设计完之后再进行所谓的“标准化”。真正的标准化，你要把你的产品的所有参数按优先数系形成序列化，再把所有的零部件的功能参数及尺寸，用优先数系来序列化才对。

轮廓仪选择"正常探针"，选择"基本条件"，使用标准切片校正条件选择"标准值"，将标准片校正条件的标准值设置为3.21um，并选择6.000mm/s的校正率将标准片放在水平平差表上。反射光测量时，高度敏感的感光元件CMOS矩阵可以接收从被测物体反射回来的光线，形成高精度轮廓影像。测量长度5λ，单击Filter，检查"使λs有效"、"比值"设置300，波长设置为0.8mm，单击"移除形状"，将针移到下列图形的位置，点击测量，将测量值与标准块确定的值进行比较选择二乘法，确定并执行测量。