安徽自动轮廓仪咨询***“本信息长期有效”

轮廓仪

一、测量结束，退出系统，关闭电脑，切断电源及气源。

二、每个工作日打开过滤器的阀门放一次水。

三、测量完毕后用棉花拈航空汽1油清洗工作台及夹具，并涂油防锈。

四、仪器配件要注意防锈。

五、要定期清洁气浮导轨，以保证导轨的精度。

轮廓仪的用途：可测量各种精密机械零件的粗糙度和轮廓形状参数。用拟合法来评定园弧和直线等。从而可测量园弧半径、直线度、凸度、沟心距、倾斜度、垂直距离、水平距离、台阶等形状参数。***后一个应该考虑的因素是被测物体的轮廓缺陷，可能产生阴影的轮廓以及多次反射的表面影响。仪器还可对各种零件表面的粗糙度进行测试；可对平面、斜面、外园柱面、内孔表面、深槽表面、圆弧面和球面的粗糙度进行测试,并实现多种参数测量。

轮廓仪助力半导体产业大发展

晶圆IC减薄后的粗糙度检测

在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。5*π*R^3，扭应力选屈服点360的一半即180MPa，圆周率选3。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵1大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏1大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。

除了灰尘杂质，您还可以使用航空擦拭金属导轨，并用无水乙醇擦拭花岗岩导轨。有时容易误解图像测量仪器与其他机器相同，并且在维护期间需要润滑导轨。事实上，这是不正确的。电感传感器的缺点：1、量程非常小，普通的电感传感器的量程通常不到1mm。通常，仅少量的防锈油可以涂在传动部件上，例如螺钉和磁条。准备温度在启动机器之前，请检查其湿度和仪器清洁度，然后检查电源是否正常工作，并定期检查稳压电源的接地。