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发布时间:2020-06-30 23:02:23
按照轮廓仪的投射路径可以将其分为:Ⅰ 垂直型投影机,Ⅱ水平型投影机,Ⅲ 落地型投影机。通过光学原理,将工件的的轮廓放大并投影到屏幕上,调整工件与透镜之间的焦距,使图像清晰明了。但是投射路径不同其构造也不同。以垂直型投影机为例,透镜的放大倍率范围一般在25x至225x之间,常用的倍率有10x、20x、50x、100x这四种。影像测量仪的分类又有多种,这里就不列举了。
轮廓仪因此,在测量之前,必须将零位表调整为零。经过噪声滤波和波度滤波后,剩下的就是与被测表面粗糙度成比例的信号。在平均仪表放大器之后,输出电流I和测得的表面轮廓点偏离中性线高度y。该值成比例,然后由积分器计算乘积以获得Ra值,该值由零表显示。该粗糙度仪适用于测量0.02-10μm的Ra值。有一些模型可以测量较小的参数值。粗糙度仪配备有各种配件,以适合平面,内外圆柱面,圆锥面,球面,曲面以及小孔,凹槽等形式的工件表面测量。
现代科学技术的许多领域对表面质量提出了更高的要求。一方面,现有的常规检测方法无法满足测量精度的要求,尤其是近年来纳米技术的出现和逐步普及与应用改善了对表面粗糙度的测量要求,并且向更精细和的方向发展了表面粗糙度测量技术。另一方面,复杂的三维形状加工技术的发展也对三维表面粗糙度测量的发展提出了新的要求。
光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、、科研院所等领域中。轮廓仪主要是用来测量零件表面的轮廓形状,反应的是零件的宏观轮廓,比如说:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。轮廓仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
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