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粗糙度轮廓仪测圆弧轮廓误差较大是什么原因？

首先，确定测针是否已经磨损不能使用，如果测针正常，操作也正常，那就要让厂家工程师做精度点检了。

其次，由于轮廓仪 的结构。轮廓仪 的测量杆是杠杆式的，所以测针在测量时上下进行的是一个圆弧运动。特别是在测量圆弧的时候，可能存一在种情况：把工件转180度 和之前的测量结果都不一样。

第三，目前这种问题都是通过软件补偿的，现在进口轮廓仪 的这个问题已基本上得到了解决，国产的轮廓仪 就不好说了。只有实际的测试一下才知到。

轮廓仪助力半导体产业大发展

硅晶圆的粗糙度检测

在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。每天下班前，必须做好防火、防盗工作，清理设备附件和工件，做好设备日常***和工作场地的清洁。

高速测量：只需几秒时间，优化的测试能力和程序控制自动零件聚焦和***：减少操作员测试差异，提高培训和测试效率重复性特征：优异的测量精度和可重复性，为高要求的生产应用提供服务抗震测量： SureScan?抗震技术和集成式抗震平台使系统在震动环境下也可实现计量***artPSI?技术：对超光滑表面进行快速分析测量