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发布时间:2020-06-29 21:53:07
轮廓仪助力半导体产业大发展
晶圆IC减薄后的粗糙度检测
在硅晶圆的蚀刻完成后,根据不同的应用需求,需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理,在这个过程中,需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。这就是“标准化”,论坛上常常看到有人说“标准化”,实际他们说的是“标准件”,所做的工作只是将整机的标准件整理一下,就叫标准化了,实际不是这样的。在减薄工序中,晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序,粗磨后的表面存在明显的磨削纹路,而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵,沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵,在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵1大起伏在2.4um左右,而磨削纹理起伏1大在1um范围内波动,并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm,剖面线的粗糙度Ra为241nm。
激光轮廓仪的主要应用
轨道外形测量
为了对铁轨顶面磨损状况分级并且对必要的维修工作进行估价,测量车在每侧轨道上方安装5-7个激光位移传感器,以每小时80英里速度运行,每隔20cm记录测量数据,并与中心计算机储存的标准数据对比,计算机依据给定的偏差值进行分类,并与此测量值迭生的检测车位移数据一并记录存挡在计算机中。具有强大的CNC功能,能进行一系列的自动化,***率的测量作业,SPC分析功能。
自然数是无穷的,但在机械设计师眼里,世界上只有10个数,它就是R10优先数。并且,这10个数相乘,相除,乘方,开方,结果还在这10个数里,何其奇妙!当你设计的时候,不知道尺寸该选择多大为好时,就在这10个数里选,你说何其方便!
两个优先数,比如4和2,其序号分别为N24和N12,它们相乘,将其序号相加,其结果等于N36即8便是;需要注意的是,由于轮廓仪为接触测量,测针针尖必须要缓慢稳定的划过被测部位才有效,则测针顺利通过则是第1前提。相除,序号相减,等于N12即2便是;2的立方,将其序号N12乘以3得N36即8便是;4的开方,将其序号N24除以2得N12即2便是如果求2的四次方呢?
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