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发布时间:2020-03-17 21:37:53
激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场,随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差,因此光学镜组与运动轴偏置距离越远,引起的阿贝误差越大。随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量数控机床位置精度方面用途为广泛。
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统丈量位移的通用长度丈量工具,是校准数控机床、坐标测量机、测长机、电动滑台、线性模组及其它***装置精度及线性指标***常用的标准仪器。一句话概括就是激光干涉仪是用来检测设备运动精度的仪器。
激光平面干涉仪
激光平面干涉仪运用移相干涉原理提供高精度的平面面形、球面面形曲率半径样品表面质量传输波前的测量和分析,其主要用于平面和球面的面形检测 ;平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差 ;激光器的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量及寿命等指标参数,都关系着激光干涉仪的***终性能。光学材料均匀性测量 ;角锥角度和面形偏差测量 ,在光学玻璃元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)应用***为广泛。
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。它是一种在测量期间与环境条件的变化有关系的误差。对于激光干涉仪来说,当引力波通过时,干涉仪相互垂直的两臂所在的那部分空间自然也产生拉伸或压缩效应。它是由于当围绕激光束的大气压力发生变化(引起激光波长变化)时以及当固定有激光干涉仪和目标反射镜的材料温度发生变化(引起干涉仪和反射镜之间的距离变化)时,激光束行程长度得不到补偿而造成。
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