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发布时间:2020-03-11 00:29:39
激光干涉仪性能特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦nai激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
激光干涉仪:误差影响精1确度
1、大气折射率
2、激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。
3、余弦误差:在测定三坐标测量机的***误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。
4、死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
5、细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
6、脉冲当量误差:激光干涉仪显示的***1小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
7、阿贝误差:为避免阿贝误差,需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上,否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素?激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表,在精密制造、计量等各个行业领域中得到了广泛的应用,在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要的作用。下面小编说说什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素?2、将激光对准二号光靶,近端前后、左右位置调节,远端调节垂直转向镜的旋钮。若光程差没有变化时,激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
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