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阜阳双频激光干涉仪出售咨询***「在线咨询」

发布时间:2020-03-06 06:54:22        






精密型激光干涉仪优势:

激光干涉仪,一次设能够同时测量数控直线轴的多个误差参数(单轴***多6个误差参数),极大地减少可机床的停产时间,提高了实际测量精度(测量该轴的各误差参数时,无时间差)操作使用容易,传统干涉仪需要数天时间才能完成的测试,API XD ***干涉仪只需要2到3个小时,XD-5/6D激光干涉仪节省机床停产时间达80%以上。影响因素下面所列任何一种环境参数的变化都会导致大约1μm的误差:(1)空气温度:1℃(2)空气压力:0。多参数同步测量所揭示的机床真是误差状况是传统干涉仪所无法做到的。



激光干涉仪调光步骤及技巧

线性测量

光学组件:分光镜一只,反射镜两只。

测量原理:线性位置精度(或速度)的测量必须具有一个光学元件相对于另一个光学元件间的相对运动。激光干涉条纹判读1、调整干涉条纹,使被检区域出现3条到5条干涉条纹。线性位置精度(或速度)通过XL80激光头的干涉条纹计数电路来确定两个光学元件间的距离变化(或距离变化速率),并与被测机器的光栅读数尺相比较来确定精度误差。

光学器件安装:

1、水平轴测量光学器件的安装布局。(干涉镜或者反射镜移动,反射镜作移动光学元件的测量范围是40m,干涉镜作移动光学元件的测量范围是15m。)

2、垂直轴测量光学器件的安装布局。(反射镜移动)


直线度测量

光学组件:直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只。

测量原理:激光头的输出光束穿过直线度干涉镜后,被分裂成两束夹角较小的光束,这两束光成一个微小的角度。然后,经直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干涉镜,该两束光束在直线度干涉镜处汇合成一束光束,并返回激光头的回光孔。3、查看五个光强指示灯是否全亮,若无,请重复步骤2~5,直至近、远两端位置,五个光强指示灯全亮。直线度测量是通过检查干涉镜和反射镜的相对横向位移引起的光程差来实现的,直线度测量可以在水平面或垂直面内进行,它取决于直线度干涉镜和直线度反射镜的***方向。



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