激光干涉仪精度-合肥迈思瑞仪器公司 -安庆激光干涉仪

双频激光干涉测角

当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的多1普勒频差不变，拍频不变。如果，大口径激光干涉仪，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，测量精度为0.5″

激光干涉仪介绍激光干涉仪以光1波为载1体，具备精1确测量精1度提高、精1确测量速率1快、精1确测量1范畴大、***1高1测1速下像素高等学校特性，其光波波长可立即对米开展界定并溯1源至***行业标准。因而，激光干涉仪运用于数控车床、PC1B钻机、座标三坐标测量仪、位移传感器等精1密仪器设备的质量管理与校正及其产品研发、高1端机器设备生产制造等领1域。

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