合肥迈思瑞(图)-平面激光干涉仪-滁州激光干涉仪

激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s***1大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在***1高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。

系统精度比原有的对应产品激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用智能传感系统进行读取，滁州激光干涉仪，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦nai激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。

设备环境温度的危害：1、危害要素，设备溫度偏移20℃时，因为应用的原材料温度感应器的精1确测量精1确度及键入设备线膨胀系数有误的危害，对精1确测量精1确度也会造成危害。当原材料温度感应器的精1确度为±0.1℃，线膨胀系数为10μm/℃时，造成的数据误差为±1.0μm;若键入有误的设备线膨胀系数会使精1确度转变为10μm，乃至大量。2、降低及清除的方式：由上看得出，线膨胀系数是1个关键的偏差来源于，工业激光干涉仪品牌，因而应当留意保证键入恰当的标值，必需时，应向设备经销商开展资询。

激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，激光干涉仪检测，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，平面激光干涉仪，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途为广泛。

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