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发布时间:2019-12-20 14:46:24
用电子仪器或光学仪器测量出Ra、Rz和Ry的数值即可定量评定表面粗糙度。在实际生产中,经常凭人的视觉和触感并用样块与被加工表面相比较来鉴定其粗糙度。
标注方法:在零件图上用符号标注加工表面的特征。为基本符号,单独使用这一符号是没有意义的,加注参数值时表示表面可用任何方法获得。
各种机械加工工艺获得粗糙度等级
关于表面粗糙度的数值和表面特征、获得方法、应用举例请参见下表
轮廓仪助力半导体产业大发展
硅晶圆的粗糙度检测
在半导体产业中,硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量,光学轮廓仪,而硅晶圆的制备,要经过十数道工序,才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆,制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内,其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亚纳米量级,芜湖轮廓仪,而在此量级上,进口轮廓仪,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。
粗糙度轮廓仪测圆弧轮廓误差较大是什么原因?
首先,确定测针是否已经磨损不能使用,如果测针正常,操作也正常,那就要让厂家工程师做精度点检了。
其次,由于轮廓仪 的结构。轮廓仪 的测量杆是杠杆式的,所以测针在测量时上下进行的是一个圆弧运动。特别是在测量圆弧的时候,可能存一在种情况:把工件转180度 和之前的测量结果都不一样。
第三,轮廓仪价格,目前这种问题都是通过软件补偿的,现在进口轮廓仪 的这个问题已基本上得到了解决,国产的轮廓仪 就不好说了。只有实际的测试一下才知到。
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