合肥迈思瑞(图)-激光干涉仪检测-滁州激光干涉仪

什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素？激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表，在精密制造、计量等各个行业领域中得到了广泛的应用，机床激光干涉仪，在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要的作用。下面小编说说什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素？若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s***1大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在***1高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。

系统精度比原有的对应产品激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用智能传感系统进行读取，激光干涉仪检测，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，激光干涉仪品牌，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦nai激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。

激光干涉仪的补偿原理

材料死程误差

对于线性***精度测量，材料膨胀补偿通常仅应用在与测量激光距离等长的材料路径长度上。

外界环境

***为理想时使测量仪器和被检对象处于20℃的环境下进行检测，滁州激光干涉仪，如不在20℃的环境下进行检测，则必须修正轴线***系统和检测设备间的名义差胀，以获得修正到20℃的检测结果。

双频激光干涉仪测直线度误差

双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。

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