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尚经理 先生
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发布时间:2019-12-12 11:41:54
激光干涉仪死程误差的影响:1、影响因素:死程是在使用EC10自动补偿的方式进行位置准确度测量中随环境参数的变化而产生的一种误差。由于在定“零点”时,机床激光干涉仪,固定光学镜和移动光学镜之间存在一段距离,EC10无法对“零点”和固定光学镜之间的距离进行补偿而产生误差。
2、减少及消除的方法:在定“零点”时,若固定光学镜和移动光学镜是并排放置的,则死程误差可以忽略不计。
在移动光学镜位于坐标轴零点位置时,阜阳激光干涉仪,两个光学元件彼此间距离为***1大的这种机器上
产品用途
激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差 修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。
激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。
激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划***。
激光干涉仪性能特点
1.测量精度高、速度快,激光干涉仪厂家,稳定性好
①使用美国高性能氦nai激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
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